TDK TAS300 E4/E4A
TAS 300 Type E4/E4A Load Port，相容于300mm晶圆 FOUP，是目前市佔率最高之 Load Port 型号
規格:
◆ CDA：0.52~0.60MPa（G）･30L/min（ANR）（φ6mm管）。
◆ 真空 ：-61±10kPa（G）･10L/min（ANR）（φ6mm管）。
◆ 使用電源 ：DC24V±５％ 3A （全負载電流 2A）。
規格:
◆ CDA：0.52~0.60MPa（G）･30L/min（ANR）（φ6mm管）。
◆ 真空 ：-61±10kPa（G）･10L/min（ANR）（φ6mm管）。
◆ 使用電源 ：DC24V±５％ 3A （全負载電流 2A）。
