TDK TAS-FP
氮气 Front Purge for E4A/E4/J1
TAS-FP
簡介:
TAS-FP(Front Purge)為對應TDK製TAS-300 FOUP Load Port (Type E4/E4A/H1)之產品，在搭載本產品後能將N2/CDA注入至FOUP內來降低濕度及氧濃度來抑止晶圓汙染。
TAS-FP
簡介:
TAS-FP(Front Purge)為對應TDK製TAS-300 FOUP Load Port (Type E4/E4A/H1)之產品，在搭載本產品後能將N2/CDA注入至FOUP內來降低濕度及氧濃度來抑止晶圓汙染。
