TDK TAS-BP
氮气 Bottom Purged for E4/E4A/J1
TAS-BP
簡介:
TAS-BP(Bottom Purge)為對應TDK製TAS-300 FOUP Load Port (Type E4/E4A/H1) 之產品，在搭載本產品後能將N2/CDA注入至FOUP內來降低濕度及氧濃度來抑止晶圓汙染。
TAS-BP
簡介:
TAS-BP(Bottom Purge)為對應TDK製TAS-300 FOUP Load Port (Type E4/E4A/H1) 之產品，在搭載本產品後能將N2/CDA注入至FOUP內來降低濕度及氧濃度來抑止晶圓汙染。
