TDK Nitrogen cyclic EFEM
TDK N2 EFEM；应用于12吋晶圆生产设备系统，在SMIF内做氮气置换功能
Nitrogen cyclic EFEM
簡介:
主要應用於12吋晶圓生產設備系統，在SMIF內作氮氣置換功能。
Nitrogen cyclic EFEM
簡介:
主要應用於12吋晶圓生產設備系統，在SMIF內作氮氣置換功能。
