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TDK CAVS-FE

TDK CAVS-FE
ꄴ前一个： TAS300-E4A SMIF Load Port
ꄲ后一个： TDK Nitrogen cyclic EFEM

CAVS-FE

簡介:
主要使用於12吋晶圓廠生產區地板，FOUP氮氣充填設備。